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大型超光滑表面疵病數字化檢測儀

    本系列產(chǎn)品是目前國內外首創(chuàng )的可對各種光滑光學(xué)元件和金屬表面疵病實(shí)現快速、自動(dòng)化、微米量級分辨率檢測的數字化設備，能夠有效解決目視檢測效率低、準確性差的難題?？蓱糜诠鈱W(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件、光滑金屬、硅片、液晶屏、手機外殼、微縮文字等各類(lèi)元件表面疵病的檢測?？蓹z測表面疵病的類(lèi)型包括各種劃痕、麻點(diǎn)、污漬、破邊等。通過(guò)采用不同行程范圍的掃描裝置，可實(shí)現不同大小樣品的檢測，被檢元件口徑最大可達1000mm×600mm或更大。本系統擁有多項國家發(fā)明專(zhuān)利。

    系列產(chǎn)品主要技術(shù)指標：

 1）檢測樣品最大口徑：（130mm×130mm）～（1000mm×600mm）； 

 2）瑕疵分辨率：優(yōu)于0.5um； 

 3）檢測的疵病幾何特征：各種劃痕、麻點(diǎn)、破邊等、文字缺損校驗；

 4）被檢樣品可水平、垂直放置掃描檢測； 

 5）軟件及結果輸出：配備“超光滑表面疵病數字化評價(jià)系統”軟件，可輸出包含表面      瑕疵定位、定量信息的電子報表；

 6）照明及成像系統：特制的無(wú)盲點(diǎn)照明系統配備顯微散射暗場(chǎng)成像技術(shù)；

 7) 評價(jià)標準：

   ·國際標準  ISO10110-7  

   ·美國軍標  MIL-PRF-13830B

   ·同時(shí)可以根據客戶(hù)要求，對不同的樣品（光學(xué)元件表面、金屬元件表面）瑕疵（劃  痕、麻點(diǎn)、污漬等）的檢出要求進(jìn)行圖像處理軟件的研發(fā)；

 8）評價(jià)方法：采用獲得國家發(fā)明專(zhuān)利的定量評估方法；

 9）對有特殊潔凈要求的檢測配備有專(zhuān)業(yè)的凈化臺；

 10）表面瑕疵質(zhì)量檢測應用范圍：

     130 型（適合于中小口徑檢測）

     ·各種精密光學(xué)元件、激光器諧振腔表面瑕疵；

     ·金屬元件表面瑕疵；

     ·手機屏表面瑕疵。

     450 型、1000 型（可用于大口徑檢測）

     ·大口徑光學(xué)平板表面瑕疵；

     ·大口徑硅片表面瑕疵；

     ·各類(lèi)液晶屏、顯示屏的表面瑕疵。